内容编辑日本yutaka-crown减压阀L81 压力调整器L88
分类: 气体检测仪器
发布时间: 2023-03-10 15:09
千斗工业科技有限公司专业代理日本yutaka-crown压力调节器，减压阀， 压力调整器
L81系列是专为半导体工艺制造气体设计的产品，具有二级减压结构。基本结构为外部金属密封和焊接接头规格，是具有优良外
千斗工业科技有限公司专业代理日本yutaka-crown压力调节器，减压阀， 压力调整器
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L81系列是专为半导体工艺制造气体设计的产品，具有二级减压结构。基本结构为外部金属密封和焊接接头规格，是具有优良外部泄漏和颗粒性能的产品。由于采用二级减压结构，不易受到原压力波动的影响，可以获得稳定的压力和流量。最适合用于绝热膨胀导致温度下降较大的液化气.
| 入口压力 | 14.8 MPa 以下（Max.19.6 MPa） |
| 调整压力 |
Max.0.99MPa （量程规格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.8MPa、0～0.99MPa） |
| 气源压力波动 | 进口压力：每0.1MPa调整压力变化0.000007MPa |
| 承受压力 | 22.2MPa（进口侧） |
| Cv值 | 0.03 |
| 工作温度 | -10 至 +40°C |
| 外部泄漏 | 1×10－11Pa?m3/s?He（真空法） |
| 内容量 | 8.9cm（不包括3个压力表和接头） |
| 大量的 | 约2.0kg |
| 安装方法 | 前后面板安装用螺母安装 |
外观
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L88系列是专为半导体生产气体B2H6设计的产品，采用二级减压结构。作为抑制B2H6减压生成产物的措施，中间压力为3MPa，调节阀结构为平密封式，采用PCTF调节阀座抑制缺陷。它也非常适用于绝热膨胀变化较大的 NF3。
规格
| 入口压力 | 14.8MPa以下 |
| 调整压力 |
Max.0.99MPa （量程规格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 气源压力波动 | 进口压力：每0.1MPa调整压力变化0.00075MPa |
| 承受压力 | 22.2MPa（进口侧） |
| Cv值 | 0.08 |
| 工作温度 | -10 至 +40°C |
| 外部泄漏 | 1×10－11Pa?m3/s?He（真空法） |
| 内容量 | 12.58cm（不包括3个压力表和接头） |
| 大量的 | 约2.4kg |
| 安装方法 | 前后面板安装用螺母安装 |
[备注]
■ 单位：mm
■ 请注意，每个尺寸如有更改，恕不另行通知。
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